Waarom de fabrieken van ASML in Veldhoven steeds groter moeten worden
eerste generatie waferstepper
De klanten waaraan de startup ASML in 1984 probeerde zijn lithografiemachines te verkopen vonden dat de machines die ASML ging ontwikkelen zo klein mogelijk moesten zijn. Ze moesten passen in de bestaande schone ruimtes van hun chipsfabrieken. Die schone ruimtes zijn schreeuwend duur en de kosten worden dan ook per kubieke foot uitgerekend.
Dus de machines moesten een kleine footprint hebben en laag genoeg zijn. De eerste machine die in 1986 geleverd werd was ongeveer 2x2x3 meter.
Om dat ding te kunnen bouwen moest ASML een fabriek bouwen met een schone ruimte van vier meter hoog. Met vijf meter luchtbehandeling erbovenop dus een meter of negen hoog. Door de mooie architectuur van dat gebouw viel die hoogte niet echt op. Het gebouw is in april afgebroken.
Rond 1990 stapte de chipsindustrie over van wafers (= plakken silicium) van 150 millimeter naar wafers van 200 millimeter. De nieuwe lithografiemachine die daar geschikt voor was werd meteen een heel stuk groter. De hoogte bleef ongeveer hetzelfde, maar toch was de fabriek niet geschikt te maken om dit soort machines te bouwen. Ook de ruimte rond de oude fabriek was onvoldoende, dus de nieuwe grotere fabriek met bijbehorend logistiek centrum is toen gebouwd op de nieuwe campus achter het Maxima Medisch Centrum. Op onderstaande foto is die fabriek verstopt rechts naast het nieuwe kantoorgebouw. Ook Ontwikkeling verhuiste naar deze campus, naar de witte gebouwen links op de foto.
Rond 2000 stapte de chipsindustrie over van wafers (= plakken silicium) van 200 millimeter naar wafers van 300 millimeter. De lithografiemachine die daar geschikt voor was werd meteen een heel stuk groter, EN hoger. Deze generatie lithografiemachines is nu ongeveer even groot als een stadsbus, dus drie tot 4 meter hoog. Daar moest weer een nieuwe fabriek voor gebouwd worden verder achteraan op de foto. Die fabriek moest dus een schone ruimte krijgen van een meter of acht hoog want anders kan een kraan de onderdelen er niet bovenop hijsen. Met luchtbehandeling erbij is het gebouw een meter of vijftien hoog.
De fabriek waar de huidige generatie EUV machines gebouwd worden is weer een stuk hoger, want EUV gaat met spiegels in een grote vacuumton. De High-NA versie die vanaf 2024 geleverd wordt is zo op het oog 15x6x6 meter. Twee dubbeldekbussen naast elkaar dus. Daar hoort een fabriek bij van twintig meter hoog. Achteraan op de foto.
Als je die lithografiemachines van ASML allemaal in één plaatje frommelt dan ziet dat er ongeveer zo uit:
Hier zijn we vandaag. Er komt de komende jaren vast nog wel een machine die weer een stuk groter is. Dus fabrieken van dertig meter hoog kun je gewoon op wachten. Langs de A67 in Veldhoven komt dus nog heel wat hoogbouw, maar de tachtig meter van het grote zwarte gebouw vooraan op de foto zullen ze voorlopig niet halen.